TFT—LCD是採(cǎi)用新材料和新工藝的大規模半導體全集成電路制造技術,是液晶(LC)、無機和有機薄膜電緻發光(EL和OEL)平闆顯示器的基礎(chǔ)。
TFT是在玻璃或塑料基闆等非單(dān)晶片上(當(dāng)然也可以在晶片上)通過濺射、化學沉積工藝形成制造電路必需的各種膜,通過對膜的加工制作大規模半導體集成電路(LSIC)。
採(cǎi)用非單晶基闆可以大幅度地降低成本,是傳(chuán)統大規模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸。在大面積玻璃或塑料基闆上制造控制像元(LC或OLED)開關性能的TFT比在矽片上制造大規模IC的技術難度更大。
對生産(chǎn)環境的要求(淨化度爲100級),對原材料純度的要求(電子特氣的純度爲99.999985%),對生産(chǎn)設備(bèi)和生産(chǎn)技術的要求都超過半導體大規模集成,是現代大生産(chǎn)的頂尖技術。
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