(1)大面積(jī):九十年代初第一代大面積(jī)玻璃基闆(bǎn)(300mm×400mm)TFT-LCD生産(chǎn)線投産(chǎn),到2000年上半年玻璃基闆的面積已經擴大到瞭(le)680mm×880mm),而預計在09年啓動的日本SHARP在大阪投資的10代線玻璃基闆尺寸達到瞭(le)2880mmX3080mm,該尺寸玻璃面闆可裁切15片42寸的液晶電視。
(2)高集成度:用於(yú)液晶投影的1.3英寸TFT芯片的分辨率爲XGA含有百萬個象素。分辨率爲SXGA(1280×1024)的16.1英寸的TFT陣列非晶體矽的膜厚隻有50nm,以及TAB ON GLASS和SYSTEM ON GLASS技術,其IC的集成度,對設備(bèi)和供應技術的要求,技術難度都超過傳統的LSI。
(3)功能強大:TFT最早作爲矩陣選址電路改善瞭(le)液晶的光閥特性。對於(yú)高分辨率顯示器,通過0-6V範圍的電壓調節(其典型值0.2到4V),實現瞭(le)對象元的精確控制,從而使LCD實現高質量的高分辨率顯示成爲可能。TFT-LCD是人類曆史上第一種在顯示質量上超過CRT的平闆顯示器。現在人們開始把驅動IC集成到玻璃基闆上,整個TFT的功能将更強大,這是傳(chuán)統的大規模半導(dǎo)體集成電路所無法比拟的。
(4)低成本:玻璃基闆和塑料基闆從(cóng)根本上解決瞭(le)大規模半導體集成電路的成本問題,爲大規模半導體集成電路的應用開拓瞭(le)廣闊的應用空間。
(5)工藝靈活:除瞭(le)採(cǎi)用濺射、CVD(化學氣相沉積)MCVD(分子化學氣相沉積)等傳統工藝成膜以外,激光退火技術也開始應用,既可以制作非晶膜、多晶膜,也可以制造單晶膜。不僅可以制作矽膜,也可以制作其他的Ⅱ-Ⅵ族和Ⅲ-Ⅴ族半導體薄膜。
(6)應用領域廣泛,以TFT技術爲基礎的液晶平闆顯示器是信息社會的支柱産(chǎn)業,也技術可應用到正在迅速成長(zhǎng)中的薄膜晶體管有機電緻發光(TFT-OLED)平闆顯示器也在迅速的成長(zhǎng)中。 |